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반도체 & 디스플레이Semiconductor & Display

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SEMICONDUCTOR & DISPLAY

반도체 & 디스플레이Semiconductor & Display

반도체·디스플레이 공정은 초정밀 클린룸 환경에서 이루어지며, 미세한 입자 발생이나 화학물질 누출이 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 씰스타는 우수한 화학 내성과 저파티클 특성을 갖춘 퍼플러오링, 스프링에너자이즈씰, PEEK 소재 씰 등으로 정밀 공정을 지원합니다.Semiconductor and display processes run in ultra-precise cleanrooms, where particle generation or chemical leakage directly affects yield. Sealstar supports these processes with perfluoro O-rings, spring-energized seals and PEEK seals offering excellent chemical resistance and low-particle characteristics.

주요 적용 부위Key Applications
웨이퍼 이송·척(Chuck) 장비Wafer transfer & chuck equipment식각(Etch)·증착(CVD/PVD) 챔버Etch / deposition (CVD·PVD) chambers가스 배관 밸브Gas line valves초순수(UPW) 배관Ultra-pure water (UPW) lines
요구 성능Required Performance
1

초저파티클Ultra-Low Particle

클린룸 오염을 최소화하는 저발진(Low-Outgassing) 소재.Low-outgassing materials that minimize cleanroom contamination.

2

우수한 화학 내성Chemical Resistance

강산, 강염기, 플라즈마 환경에서도 변형 없는 내구성.Durability without deformation under strong acids, bases and plasma.

3

정밀 치수 관리Precise Tolerances

수 마이크론 단위의 정밀 공차로 미세 누설을 방지.Micron-level tolerances that prevent micro-leakage.

4

고온·고진공 대응High-Temp / High-Vacuum

공정 온도·압력 변화에도 안정적인 밀봉 성능 유지.Stable sealing through process temperature and pressure changes.

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