SEMICONDUCTOR & DISPLAY
반도체 & 디스플레이Semiconductor & Display
반도체·디스플레이 공정은 초정밀 클린룸 환경에서 이루어지며, 미세한 입자 발생이나 화학물질 누출이 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 씰스타는 우수한 화학 내성과 저파티클 특성을 갖춘 퍼플러오링, 스프링에너자이즈씰, PEEK 소재 씰 등으로 정밀 공정을 지원합니다.Semiconductor and display processes run in ultra-precise cleanrooms, where particle generation or chemical leakage directly affects yield. Sealstar supports these processes with perfluoro O-rings, spring-energized seals and PEEK seals offering excellent chemical resistance and low-particle characteristics.
주요 적용 부위Key Applications
웨이퍼 이송·척(Chuck) 장비Wafer transfer & chuck equipment식각(Etch)·증착(CVD/PVD) 챔버Etch / deposition (CVD·PVD) chambers가스 배관 밸브Gas line valves초순수(UPW) 배관Ultra-pure water (UPW) lines진공 펌프(Vacuum Pump)Vacuum pumps
요구 성능Required Performance
1
초저파티클Ultra-Low Particle
클린룸 오염을 최소화하는 저발진(Low-Outgassing) 소재.Low-outgassing materials that minimize cleanroom contamination.
2
우수한 화학 내성Chemical Resistance
강산, 강염기, 플라즈마 환경에서도 변형 없는 내구성.Durability without deformation under strong acids, bases and plasma.
3
정밀 치수 관리Precise Tolerances
수 마이크론 단위의 정밀 공차로 미세 누설을 방지.Micron-level tolerances that prevent micro-leakage.
4
고온·고진공 대응High-Temp / High-Vacuum
공정 온도·압력 변화에도 안정적인 밀봉 성능 유지.Stable sealing through process temperature and pressure changes.
관련 제품Related Products
자주 묻는 질문FAQ
반도체 챔버용 씰에 왜 FFKM을 많이 쓰나요?Why is FFKM commonly used for semiconductor chamber seals?
FFKM(퍼플러오링)은 강산·강염기·플라즈마에 대한 내화학성이 뛰어나고 저발진(low-outgassing) 특성이 있어, 클린룸 오염을 최소화하면서 식각·증착 챔버의 극한 화학환경에 견딜 수 있습니다.Perfluoro O-rings (FFKM) combine strong resistance to acids, bases and plasma with low outgassing, so they withstand the extreme chemistry of etch/deposition chambers while minimizing cleanroom contamination.
초순수(UPW) 배관에도 특수 씰이 필요한가요?Do ultra-pure water (UPW) lines need a special seal too?
네, 초순수는 미세 오염에도 민감하므로 저용출·초저파티클 소재의 씰이 필요합니다. 씰스타는 PTFE·PEEK 계열로 대응합니다.Yes — UPW is sensitive to even trace contamination, so low-extractable, ultra-low-particle materials are required. Sealstar addresses this with PTFE- and PEEK-family materials.
웨이퍼 이송 장비의 씰은 어떤 조건을 우선 고려하나요?What's the top priority for seals in wafer-transfer equipment?
고진공 유지와 초저파티클 발생이 최우선이며, 반복 구동에도 안정적인 저마찰 특성이 필요합니다.Maintaining high vacuum and generating minimal particles come first, along with stable low friction under repeated cycling.
해당 산업 적용 사양이 궁금하신가요?Need specs for this industry?
도면이나 사용 조건을 알려주시면 담당자가 확인 후 신속히 답변드립니다.Send us your drawings or operating conditions and we will respond promptly.
전체 적용분야 보기View All Industries
