FFKM 오링(퍼플러오링)FFKM O-Rings (Perfluoroelastomer)
FFKM 오링(퍼플러오링)은 반도체·화학·식품제약·고온 장비에 적용되는 최고 수준의 내화학성 O-ring 소재입니다. 씰스타는 온도·압력·접촉 유체·공정가스·플라즈마 조건을 기준으로 Kalrez® 등 기존 사용 재질의 대체 후보를 검토하며, AS568 표준 규격은 물론 비규격 제작, 검정·백색 컴파운드까지 상담해 드립니다.FFKM (perfluoroelastomer) O-rings deliver the highest level of chemical resistance for semiconductor, chemical, food, pharmaceutical and high-temperature equipment. SEALSTAR reviews alternatives to existing materials, including Kalrez® grades, against temperature, pressure, fluids, process gases and plasma exposure — covering AS568 sizes, custom production, and black or white compounds.

FFKM이 필요한 조건When to consider FFKM
기존 FKM 오링에서 팽윤·경화·균열 또는 잦은 교체가 발생할 때, 내화학 오링의 대체 재질로 FFKM을 검토할 수 있습니다. 고온·강산·아민·용제용 오링은 유체명뿐 아니라 농도, 혼합물, 노출 시간과 세정 주기를 함께 확인해야 합니다. 모든 FFKM이 같은 온도 범위나 내약품성을 갖는 것은 아닙니다.FFKM can be considered when an existing FKM O-ring swells, hardens, cracks or needs frequent replacement. For high temperatures, strong acids, amines or solvents, specify concentration, mixtures, exposure time and cleaning cycles as well as the chemical name. FFKM grades do not share one universal temperature range or chemical compatibility rating.
FKM과 FFKM의 차이FKM and FFKM: material selection
FKM은 불소고무, FFKM은 퍼플루오로엘라스토머 계열입니다. FFKM은 가혹한 화학·고온 조건에서 검토하는 재질이지만, 가교계·충전재·경도에 따라 내스팀성, 압축영구줄음과 저온 특성이 달라집니다. 현재 FKM이 충분히 작동하는 조건에서는 비용과 교체 주기를 비교해 선택합니다.FKM is a fluoroelastomer; FFKM is a perfluoroelastomer. FFKM is considered for demanding chemical and thermal conditions, but cure system, fillers and hardness affect steam resistance, compression set and low-temperature performance. Where FKM already performs adequately, compare cost and replacement intervals before changing materials.
반도체 공정 적용 시 확인사항Checks for semiconductor processes
반도체 장비용 FFKM은 Etch·CVD·PVD·ALD·Wet Process별 공정가스, 온도, 진공도와 직접·간접 플라즈마 노출을 구분해 검토합니다. Chamber, Slit Valve 및 Centering Ring의 장착 구조와 반복 동작, 금속 이온·파티클·아웃가싱 요구조건을 확인하고 해당 등급의 시험자료를 비교합니다. 내플라즈마성은 FFKM이라는 재질명만으로 보장되지 않습니다.For Etch, CVD, PVD, ALD and wet processing, identify process gases, temperature, vacuum level and direct or indirect plasma exposure. Review chamber, slit-valve and centering-ring geometry, cycling, and limits for metal ions, particles and outgassing against grade-specific test data. The FFKM designation alone does not establish plasma resistance.
화학·고온 장비 적용Chemical and high-temperature equipment
밸브·펌프·반응기용 씰은 정상 및 순간 최고온도, 압력 변화, 접촉 유체와 세정액을 함께 검토합니다. 강산·아민·고온수·스팀에 대한 적합성은 등급마다 다르며, 식품·약품 접촉 시 FDA 관련 적합성이나 USP 시험자료도 해당 컴파운드별로 확인해야 합니다.For valves, pumps and reactors, review normal and peak temperatures, pressure changes, process fluids and cleaning agents together. Resistance to acids, amines, hot water and steam varies by grade. Food or pharmaceutical contact also requires compound-specific checks of applicable FDA compliance or USP test documentation.
표준 및 비규격 대응Standard and custom sizes
AS568 FFKM 오링은 번호와 내경(ID)·선경(C/S)을 함께 확인합니다. 비규격 FFKM 오링과 대구경 제품은 도면, 재질, 치수, 수량을 기준으로 제작 가능 여부와 납기를 검토합니다. 검정·백색은 선택 가능한 색상 구분이며, 색상만으로 순도·인증·성능의 우열을 판단하지 않습니다.For AS568 FFKM O-rings, confirm the dash number, inside diameter and cross-section. Non-standard and large-diameter parts require a review of drawings, compound, dimensions, quantity and lead time. Black and white describe colour options; colour alone does not establish purity, compliance or superior performance.
견적 및 재질 선정에 필요한 정보Information for a quote and material review
기존 제조사·컴파운드명·품번, AS568 번호 또는 내경·선경, 홈 치수, 수량과 희망 납기를 알려주세요. 사용 온도·압력·접촉 유체와 농도·공정가스·플라즈마 노출·세정 방식, 현재 손상 형태, 필요한 CoC·성적서·인증자료도 함께 전달하면 대체 후보 검토에 도움이 됩니다.Send the existing manufacturer, compound and part number; AS568 number or ID/CS; gland dimensions; quantity; and requested delivery date. Include temperature, pressure, fluids and concentrations, process gases, plasma exposure, cleaning method, observed failure mode, and required CoC, test reports or compliance documents.
아래 기존 등급표는 재질 검토를 위한 참고 정보입니다. 온도 수치는 씰 전체의 사용 보증이 아니며, 내약품성·인증·시험자료와 공급 가능 여부는 해당 제조사의 최신 컴파운드 자료로 별도 확인합니다. Kalrez® 등 타사 명칭은 기존 재질 식별과 대체 검토를 위한 것이며 공식 대리점 관계나 완전 동등성을 의미하지 않습니다.The existing grade tables below are reference information for material review. Temperatures are not assembly operating guarantees. Compatibility, compliance records, test data and availability require confirmation against current manufacturer documents for the exact compound. Third-party names such as Kalrez® identify existing materials for alternative review and do not imply an official agency relationship or complete equivalence.
퍼플러 (Evolast)Perfluoro (Evolast)
evolast®는 FFKM 컴파운드 제품군입니다. 등급별 온도·유체 적합성과 물성을 비교하고 제작 규격과 공급 조건을 별도 확인합니다.evolast® is a family of FFKM compounds. Compare temperature, fluid compatibility and physical properties by grade, and confirm production sizes and supply conditions separately.
| GRADE | 색상Colour | 경도Hardness | 사용 온도Operating Temp. | 설명·인증Remarks / Approvals |
|---|---|---|---|---|
| B794 | 화이트White | 70 | -20℃ ~ +270℃ | 표준 용도Standard applications |
| B894 | 화이트White | 80 | -20℃ ~ +270℃ | 표준 용도Standard applications |
| B895 | 화이트White | 80 | -15℃ ~ +300℃ | 표준 용도Standard applications |
| N694 | 블랙Black | 60 | -25℃ ~ +270℃ | 표준 용도Standard applications |
| N775 | 블랙Black | 75 | -15℃ ~ +340℃ | 우수한 내열 안정성 — 스팀·아민 환경에는 부적합Outstanding thermal stability — not suitable for steam/amine |
| N794 | 블랙Black | 70 | -25℃ ~ +270℃ | 표준 용도Standard applications |
| N7LT | 블랙Black | 75 | -46℃ ~ +250℃ | 초저온용Ultra low temperature |
| N894 | 블랙Black | 75 | -25℃ ~ +270℃ | 표준 용도, 재고 보유 권장 등급Standard applications, preferably stored |
| N896 | 블랙Black | 75 | -15℃ ~ +330℃ | 고온용High temperature |
| N8LT | 블랙Black | 75 | -46℃ ~ +260℃ | 초저온용Ultra low temperature |
| N8SR | 블랙Black | 75 | -15℃ ~ +330℃ | 스팀·고온수 저항Steam, hot water resistance |
| N993 | 블랙Black | 90 | -20℃ ~ +270℃ | 표준 용도Standard applications |
| N994 | 블랙Black | 90 | -30℃ ~ +260℃ | 저온용Low temperature |
| N9ED | 블랙Black | 90 | -15℃ ~ +260℃ | 표준 용도Standard applications |
| N9EX | 블랙Black | 90 | -15℃ ~ +320℃ | 표준 용도Standard applications |
| N9LT | 블랙Black | 90 | -46℃ ~ +250℃ | 표준 용도Standard applications |
| V7FD | 그린Green | 70 | -15℃ ~ +270℃ | 표준 용도Standard applications |
| V895 | 그린Green | 80 | -15℃ ~ +310℃ | 고온용High temperature |
evolast®의 내약품성은 컴파운드와 실제 유체 조건별로 확인해야 합니다.Verify evolast® chemical compatibility for the specific compound and actual fluid conditions.
표에 없는 FFKM도 사용조건을 기준으로 공급 가능 여부를 문의해 주세요. 재고와 원산지는 품목별로 확인합니다.Ask about FFKM options beyond this table based on your service conditions. Stock and country of origin are confirmed per item.
적용분야 — 화학 산업, 의약품, 식품 산업, 오일·가스 생산 및 정제 공정, 그 밖에 정밀 밀봉 성능이 요구되는 특수 산업Applications — Chemical industry, pharmaceutical/medical, food industry, oil & gas production and processing, and other applications requiring highly exacting sealing performance
Kalrez (Dupont)Kalrez (DuPont)
Kalrez® 기존 사용 등급을 식별하기 위한 공정별 참고표입니다. 실제 공정 적합성과 대체 후보는 최신 제조사 자료 및 장비 조건으로 다시 검토해야 합니다.This process table helps identify existing Kalrez® grades. Actual process suitability and alternative candidates require a fresh review of current manufacturer data and equipment conditions.
| 공정구분Group | 세부공정Process | 온도Temp. | 공정 환경Environment | 참고 등급Reference grades | 주요 용도Applications |
|---|---|---|---|---|---|
| Plasma | PECVD / ALD | 25~200℃ | TMS, DEMS, TEOS, SiH4, C3H8, NH3, SiF4, O2, N2O, NF3 | 9100, 9500 | Door/Gate/Pendulum valve seals, Chamber lid, Exhaust valve, Gas inlet·outlet·mixing block, Window seals, Center rings, Wafer/FPD carrier |
| HDP-CVD | 25~200℃ | TEOS, SiH4, NH3, SiF4, O2, C2F6, N2O, NF3, CF4 | 9100, 9500 | ||
| SACVD | 25~250℃ | TEOS, TeP, TEBO, O3, NF3 | 9500, 8002 | ||
| Ash / Strip | 25~250℃ | O2, CF4, CHF3, NH3, H2O Vapor, Forming Gas | 9300, 9500 | ||
| Dielectric(Oxide) Etch | 25~200℃ | CF4, C3F8, CHF3, SF6, O2, H2 | 9300, 9500 | ||
| Conductor(Poly/Metal) Etch | 25~200℃ | CF4, CHF3, HBr, BCl3, CCl4, Cl2 | 9300, 9500 | ||
| Thermal | Metal CVD / ALD / LPCVD | 25~300℃ | Organic precursors, WF6, TiCl4, SiH4, HF, F2, Cl2, ClF3, NF3, H2O Vapor, O2, O3 | 8900, 9100 | Quartz chamber seal, Fittings, Center ring, Plenum seals |
| Oxidation / Diffusion | 150~300℃ | N2, O2, H2O, HCl, Cl2 | 8900, 8475 | ||
| Lamp Anneal / RTP | 150~300℃ | 적외선(IR) 흡수 저항 요구 | 8475 | ||
| Wet | Wafer Prep | 25~125℃ | UPDI, Piranha, SC-1, SC-2, O3, HF(49%) | 6375UP | Door/lid seals, Drain seals, Chemical container seals, Fittings, Filter/connector seals, Flow meters |
| Etching | 25~180℃ | HNO3, HF, H2O, H3PO4 | 6375UP, 1050LF | ||
| Photolithography | 25~125℃ | H2SO4 + Oxidant, Organic Acids, NMP | 6375UP, 1050LF | ||
| Stripping | 25~125℃ | NMP/Alkanolamine, Hydroxylamine | 6375UP, 1050LF | ||
| Copper Plating | 25~100℃ | CuSO4 Solution, H2SO4, H2O2 | 6375UP, 1050LF |
등급별 특성Grade Characteristics
Kalrez 9100
가혹한 플라즈마 환경에서 낮은 침식률과 초저파티클 특성을 가진 등급입니다.Low erosion rate and ultra-low particle generation in harsh plasma environments.
Kalrez 9500
오존·암모니아·수증기·플라즈마 라디칼에 대한 저항성이 우수한 등급입니다.Excellent resistance to ozone, ammonia, water vapor and plasma radicals.
Kalrez 9300
이온(물리적)과 라디칼(화학적)이 혼재된 플라즈마 공정에 사용하는 등급입니다.Suited to plasma processes that combine ionic (physical) and radical (chemical) species.
Kalrez 8900
금속 CVD·ALD·LPCVD 및 산화·확산 공정에 권장하는 등급입니다.Recommended for metal CVD/ALD/LPCVD and oxidation/diffusion processes.
Kalrez 8475
램프 어닐·RTP 공정에 권장하는 등급입니다.Recommended for lamp anneal and RTP (rapid thermal processing) steps.
Kalrez 6375UP
습식 공정용으로 검토하는 등급이며 실제 약액과 온도별 적합성 확인이 필요합니다.A grade considered for wet processing, subject to checks for the actual chemicals and temperatures.
자주 묻는 질문Frequently Asked Questions
FFKM과 일반 FKM 오링은 어떤 차이가 있나요?How do FFKM and standard FKM O-rings differ?
Kalrez 사용 제품을 다른 FFKM으로 대체할 수 있나요?Can another FFKM replace an existing Kalrez® seal?
반도체 Etch·CVD 공정에도 사용할 수 있나요?Can FFKM be used in semiconductor Etch and CVD processes?
검정색과 백색 FFKM은 어떤 차이가 있나요?What is the difference between black and white FFKM?
성적서와 CoC를 받을 수 있나요?Are test reports and a CoC available?
비규격 및 대구경 FFKM 오링도 제작할 수 있나요?Can non-standard or large-diameter FFKM O-rings be made?
원하는 제품 사양이 있으신가요?Need a specific specification?
치수·도면·수량을 알려주시면 담당자가 신속히 답변드립니다.Send us your dimensions, drawings and quantity for a prompt reply.
